钨灯丝扫描电子显微镜
Tungsten filament scanning electron microscope
仪器型号:Q25
生产厂家:美国FEI公司
一、功能用途:
可用于金属、陶瓷、高分子、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、生物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察和分析;各种材料微区化学成分的定性和半定量检测;粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定;复合材料界面特性的研究。
二、主要技术指标:
1.分辨率:3.0nm(30kV SE高真空模式),8.0nm(3kV SE高真空模式),4.0nm(30kV BSE高真空模式),3.0nm(30kV SE低真空模式),10.0nm(3kV SE低真空模式),4.0nm(30kV BSE低真空模式);
3.放大倍率:13X - 1 000 000X;
4.加速电压:0.2kV - 30kV;
5.检测器:ETD(SE)检测器、BSED检测器、LFD检测器;
6.能量谱仪(EDS):Quantax XFlash 6|30(德国Bruker公司)。
三、工作原理:
通过对电子枪内的钨灯丝加高电压,使电子枪处于热激发状态,在阳极作用下,处于热激发的电子枪就可以激发出电子束。经过扫描线圈磁场的控制,电子束在样品表面逐点扫描,激发出二次电子、背散射电子等物理信号,经探测器收集、放大器放大后,调制得图像。
四、送样要求:
1、送检样品必须为干燥固体,块状、片状、纤维状及粉末状均可。
2、送检样品应有一定的化学、物理稳定性,在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形;无磁性、放射性和腐蚀性。
3、含水分较多的生物软组织的样品应制备成干燥样品,用户可以自行完成冷冻干燥或临界点干燥处理,也可以自行完成临界点干燥之前的固定、清洗、脱水及用醋酸(异)戊酯置换等处理,最后可以到本室进行临界点干燥处理。
4、需观察图像的导电性不佳的样品干燥后应镀导电膜,该步骤可以到本室进行。
5、一般情况下,样品尽量小块些(≤ 10 x 10 x 5 mm较方便)。粉末样品每个需1g左右。纳米样品一般需超声波分散,并镀导电膜。