中国科学技术大学吴东教授:超快激光微纳加工及其应用研究
日期:2017-12-13 浏览量:29

报告题目:超快激光微纳加工及其应用研究
报告人:吴东 教授(中国科学技术大学)
主持人:董国平 教授
报告时间:12月22日(周五)15:00
报告地点:国重402会议室

欢迎广大师生前来参加!


                                               材料科学与工程学院
                                                 2017年12月18日


个人简介:吴东,2005 年9月在吉林大学电子科学与工程学院研究生入学,2007年9月免试攻读博士学位,师从孙洪波教授,2010年6月获博士学位。2011年在日本理化学研究所做博士后,2012年获得全国优秀百篇博士论文奖。2014年任中国科学技术大学教授。在Light: Sci & Appl. (2篇,Nature系列子刊),PNAS (美国科学院院刊),Adv. Mater.,ACS Nano,Laser Photon. Rev.,APL(11篇),Opt. Lett.(7篇)等杂志发表相关论文60余篇,其中影响因子3.0以上55篇,8.0以上13篇,一区论文18篇。所发表的论文被杂志封面采用、专题评价、最高下载和转载累计30篇次,已被他引1000余次。


报告摘要:微纳制备技术是实现微器件结构并进行系统集成的基础,微电和光电子技术的迅速发展和成熟与光刻技术的进步密不可分。目前,微光学、智能机械、仿生、芯片实验室(LoC)等新兴领域对微纳制备技术提出了更高的要求,如适用多种功能材料、造型的三维可设计和纳米量级加工精度等,传统微纳加工技术已经难以同时满足这些要求。激光微纳加工利用超短激光脉冲与材料的非线性相互作用,可实现超衍射极限的加工分辨率;利用红外波长的穿透性,实现透明材料的三维加工,利用计算机扫描和图形生成,对多种材料实施复杂造型,作为一种新原理加工技术,可以满足上述要求,展示了广阔的应用前景。正是由于其“新”,激光微纳加工从基本原理到制备技术尚不成熟,面临着加工精度、表面平滑度、加工效率以及如何开拓其应用领域等一系列问题的挑战。面向这些问题,本研究从探索决定加工效果的体积元(voxel)生成规律出发,系统研究了激光直写和多光束干涉两种最典型的激光加工技术,提出若干加工新原理和关键技术,发展新型光场调制技术和复合微纳制造技术,并将其应用于微光学、微机械、微流控和仿生表面等微纳结构和器件的制备,取得了一系列创新成果。


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