用于扫描电镜制样（纸张、纤维截面）
1离子枪系统：
1.1离子枪类型：鞍式离子枪，3只，每只离子枪拥有独立电源控制
1.2离子束能量：1keV-10keV
1.3离子束电流及密度：0.5-4.5mA；0.1mA步长调节（单个离子枪）；10mA/cm2（单个离子枪）
1.4离子枪控制：电源及离子源为独立控制，可任意选择工作离子枪
1.5离子束直径（半高宽）：0.8mm@10kV, 2.5mm@2kV
1.6最大离子束切割速率：2.5µm/m(100%Si:10keV,3.5mA)
1.7 离子束对中：无需对中校正
1.8离子束切割区域：≥1mm×4mm
1.9 离子束刻蚀功能：具备离子束刻蚀加工能力
1.10阴极使用寿命：≥350h(8kv,3.0mA)
1.11工作气体：氩气，纯度99.999%，输入气压0.2-0.8bar(也可以使用其他气体)
2 真空系统
2.1 真空泵系统：二级隔膜泵和分子泵（70L/s）各一个，无油真空，真空度小于1×10-5mbar
2.2 真空计：紧凑型全范围真空计，皮拉尼真空规/冷阴极电离真空规，分别检测低真空和高真空
3 观察系统
3.1显微镜放大倍数：77×
3.2 照明方式：环形LED照明
3.3 光学分辨率：小于7um
4 样品台系统
4.1 可容纳样品尺寸：≥50x50x10mm
4.2 样品移动范围：X轴：±5mm; Y轴：±5mm; Z轴：6mm
4.3 挡板位置精度：<±2um
