恒温恒湿洁净系统主要用于维持精密制造的环境温度、湿度和洁净度，以达到微纳级别的制造要求，温度波动22±2℃, 湿度波动50±10%RH，洁净度千级。在人工智能与智能制造平台中应用于微纳机器人、微机电系统、微流控片上生物实验室等新型精密微纳器件的制造，主要面向生物医学、量子通信、信息存储等领域。
