微纳成型及测量平台包括光成型系统、真空电子束蒸发系统、微纳分散仪、台阶仪及3D高精度轮廓测量仪、声光多场微纳控制系统等多套系统及设备。适用于二维、三维微纳米多材料结构加工制备、表征及微型驱动器的开发及多场控制的研究。
