设备名称：真空低温等离子表面处理仪
英文名称：Low temperature plasma enhanced vapor deposition
型号：CD 300 PLC
国别：比利时
公司名称：Europlasma
重要指标：
1. 等离子发生器功率300w, 频率可选为40KHz/80KHz/13.56MHz/2.4GHz
2. 定制复合双层电极，等离子的均匀性
3. 5种工艺气体管路,可以5种气体同时处理，满足亲水、疏水、活化等表面处理
4. 腔体工作温度：60℃以下,最低可以稳定在15℃，适合大部分高分子材料、复合材料、医疗器械等表面处理
5. 真空泵抽速：21m³/h
6. 腔体极限真空度：1mTorr
7. 真空腔体尺寸：300mm*300mm*300mm
8. 工艺气体从上向下导入腔体，等离子的均匀性和稳定性
9. 设备可以联网，方便原厂提供远程技术支持和软件系统升级
10. 控制系统提供最高权限，方便使用自主调试开发工艺程序
用途：
1. 表面清洁：利用等离子体技术可以清除物体表面的污染物、氧化层、有机污染物等，使其表面变得干净，从而提高表面质量。
2. 表面改性：等离子体可以在物体表面产生化学反应，改变表面物质的化学性质，从而改善其性能，如提高耐腐蚀性、粘接力、亲水性、耐磨性等。
3. 表面涂层：利用等离子体技术可以在物体表面形成一层新的材料涂层，从而提高表面的耐磨性、耐腐蚀性、导电性等。
表面刻蚀：利用等离子体技术与物体进行反应，生产挥发性物质，让表面形成纹路、图案等。
