高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪
加工制备类
高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪
发布时间:2019-09-29        浏览次数:158



高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪

品牌

英国Quorum

型号

Q150T ES PLUS

负责人

王晶

联系方式

020-22237330,wangj81@scut.edu

安放地点

北区科技园2号楼122A

主要配置

1、旋转倾斜样品台(直径60 mm);

2、膜厚监控系统;

3、真空防污染装置。

基本用途

1、将石墨蒸镀到样品表面形成薄膜;

2、将Au、Pt、Cr、Ir、W、Al、ITO等靶材离子化溅射到样品表面形成薄膜;

3、可在氩气氛中进行离子溅射/蒸镀操作。


地址:中国广东省广州市天河区华南理工大学北区科技园2号楼 邮编:510640

2019©华南理工大学华南软物质科学与技术高等研究院 版权所有

粤ICP备05084312号

技术支持 维程互联

微信公众号