主要配置：

1. 电子束加速电压0.5～30 kV，最大工作电流500 nA；

2. SEM分辨能力：1 kV下0.7 nm，15 kV下0.6 nm；

3. STEM分辨能力0.6 nm，EDS mapping分辨能力30 nm；

4. Bruker XFlash 6|100 EDS探测器有效感光面积100 mm2，能量分辨率129 eV（Mn Kα）；

5. Quorum PP3010T冷冻传输台系统最低工作温度-190 ℃，温度稳定性±1 ℃，具有前装式冷冻断裂装置和全自动离子溅射镀膜组件。

基本用途：

1. 合金、陶瓷、矿物、高分子、细胞、生物组织切片及各种复合/杂合材料在BEI、SEI、STEM、EDS等多种模式下的成像观测；

2. 高分子、细胞、生物组织切片等样品的冷冻制备和原位观测。