场发射透射电子显微镜
Field Emission Transmission Electron Microscope
仪器型号：Talos F200x
生产厂家：美国Thermo Fisher公司
一、功能用途：
该仪器具有衍衬成像、高分辨成像、Z衬度成像、电子衍射、能谱分析和三维重构等多种功能，属于分析型透射电子显微镜，可实现材料微观组织形貌、晶体结构和微区成分的同位分析。该仪器采用场发射电子枪，具有较高的分辨率，特别适用于高分辨电子显微分析。同时该仪器还配备了Super-X EDS能谱仪系统，4个SDD探头，有效探测器面积达120 mm²，能量分辨率为136 eV，能快速进行STEM和EDX的二维和三维成分分析和图像采集。广泛应用于高分子材料、陶瓷、纳米材料、生物学、医学、化学、物理学、地质学、金属、半导体材料等领域的科学研究，是研究各种材料的超显微结构与性能关系所不可缺少的大型精密仪器。
二、主要技术指标：
1、加速电压：200 kV；
2、TEM放大倍率：25X~1050000X；
3、TEM点分辨率：0.25 nm；
4、信息分辨率：0.12 nm；
5、STEM分辨率：0.16 nm；
6、EDS分辨率：136eV。
三、工作原理：
电子束与样品发生作用,包括弹性散射和非弹性散射两个过程,产生反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或相位等多种信息。透过样品的电子束,经过物镜聚焦放大成像﹐再经过中间镜和投影镜进一步放大,最后用相机记录图像。
四、送样要求：
1、粉末和液体样品
（1）无磁性，放射性，挥发性，毒性等。
（2）彻底干燥
（3）粉末粒径小于1μm
（4）粉末量大于10mg
2、块体样品
（1）无磁性，放射性，挥发性，毒性等。
（2）整体直径不大于3mm
（3）经过离子减薄，电解双喷或FIB处理，薄区厚度小于100nm
