华南理工大学前沿软物质学院仪器平台新购置的X射线光电子能谱仪（XPS）已完成参数调试，即日起开始对外运行。欢迎广大校内外师生以及科研单位用户了解、预约、使用和合作。

　　一、设备信息

　　仪器名称：X射线光电子能谱仪（XPS）

　　品牌：ULVAC-PHI

　　型号：PHIGENESIS 500

　　放置地点：华南理工大学广州国际校区C2b-112

　　应用领域：用于研究材料的表面组成、元素分布、化学状态（化学键合状态）和界面特性。

　　二、功能简介

　　主要功能：

　　1. 固体材料（包括粉末材料，如金属、半导体、陶瓷、催化剂、矿物、导电玻璃、表面镀膜材料等）表面的元素成分定性、定量检测及元素价态分析。

　　2. 离子枪或者离子团簇枪清洁表面，将污染物清理之后，再对表面的元素成分定性、定量检测及元素价态分析。

　　3. 样品元素组分沿深度（纵向）变化的检测；离子刻蚀材料表面层以下深度的成分和价态定性、定量分析。

　　其他功能：

　　1. mapping：扫描 X 射线成像模式，可给出二次电子影像

　　2. UPS（紫外光电子能谱）

　　3. LEIPS（低能量反光电子能谱）

　　4. AES（俄歇电子能谱）

　　5. 变角度测试（AR-XPS）

　　三、主要参数及技术指标

　　1. SEM （SXI）扫描成像系统：空间分辨率≤ 5.0 μm。

　　2. UPS（紫外光电子能谱）：光源直径≤0.8 mm，He I灵敏度@Ag 4d优于4 Mcps；能量分辨率优于100 meV。

　　3. LEIPS（低能量反光电子能谱）：电子源能量≤7 eV，能量分辨率≤ 0.45 eV（标准多晶银样品）。

　　4. AES（俄歇电子能谱）：俄歇元素灵敏度Cu LMM俄歇N (E) 峰≥ 1.6 Mcps（铜标准品），俄歇信噪比≥ 1000：1（铜标准品）。

　　5. 变角度测试（AR-XPS）测试：中心旋转0~ 360°，倾斜-55~ 85°，角度分辨≤±1°。

　　6. 检测元素及范围：除H、He以外的全部元素，深约10nm。

　　四、送样要求

　　1. 样品需充分干燥、无磁性、无放射性、无毒性、无挥发性（如单质Na、K、S、P、Zn、Se、 As、I、Te、Hg或者有机挥发物等）、不吸水，在超高真空中及X光照射下不分解; 不大量放气（尤其腐蚀性气体）；若含有高挥发性分子，请务必先自行烘烤抽除。

　　2. 粉体样品制样：颗粒一般小于0.2 mm（用量5~10 mg），需平整致密地覆盖导电胶，或分散到易挥发性有机溶剂中，形成悬浊液滴到硅片等固体基片、金属箔或滤膜、海绵等基底上。

　　3. 液体、离子液体、膏状、明胶样品的制样：滴到导电硅片、聚乙烯/聚丙烯、金属片、滤膜、树脂、海绵等固体基片上晾干或冷冻干燥。

　　4. 磁性（含软磁）材料样品：减小样品尺寸，并提前退磁、消磁。

　　5. 固体薄膜或块状样品：切割成面积大小为5 mm╳8 mm，厚度小于2 mm。

　　6. 含Li元素、卤族元素（F、Cl、Br、I、At、Ts）以及磁性元素（Fe、Co、Ni）样品：需告知具体含量，以防X-ray灯丝中毒。

　　7. 其他：样品含S、F、I、Br、Hg、Cl、P等元素单质不能测试或其他特殊需求请联系仪器平台老师。

　　五、预约方式

　　1. 预约咨询电话：020-87111280，或QQ群: 606554846；

　　2. 收样地点：华南理工大学国际校区C2b号楼126室；五山校区北区科技园2号楼103A；

　　3. 收样时间：工作日内上午8：30-12：00，下午2：30-17：30。