高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪

品牌

英国Quorum

型号

Q150T ES PLUS

负责人

王营营

联系方式

020-22237330，wangyy86@scut.edu.cn

安放地点

北区科技园2号楼122A室

主要配置

1、旋转倾斜样品台（直径60 mm）；

2、膜厚监控系统；

3、真空防污染装置。

基本用途

1、将石墨蒸镀到样品表面形成薄膜；

2、将Au、Pt、Cr、Ir、W、Al、ITO等靶材离子化溅射到样品表面形成薄膜；

3、可在氩气氛中进行离子溅射/蒸镀操作。