高分辨X射线多晶衍射仪

高分辨X射线多晶衍射仪

(X-ray diffractometer)

型号:日本理学 SmartLab


主要技术指标:

1.     X射线光源输出功率:3KW,Cu靶,焦斑尺寸:0.4mmx12mm

2.     2θ转动范围:-10°~168°(159°~168°为维护模式)

3.     测角仪可读最小步长:0.0001°,测角仪半径:300mm

4.     能量分辨探测器XSPA-400ER,支持0D、1D和2D模式,有效探测器面积:38.4mmx9.6mm,像素大小:75μmx75μm

5.     入射光路双晶单色器2xGe(400)分辨率:≤30弧秒,入射光路四晶单色器4xGe(440)分辨率:≤8弧秒,衍射光路配双晶2x Ge(400)分析晶体

6.    大五轴尤拉环样品台:Chi圆:-5°~95°,最小步长0.001°;Phi圆:-360°~360°,最小步长0.002°;XY平移范围:-10mm~10mm,最小步长0.0005mm;Z轴范围:-4mm~1mm,最小步长0.0001mm

7.     DHS1100原位变温附件,室温-1100℃,气氛:真空,空气,惰性气体

主要附件:

CBO、入射光路2xGe(400)、入射光路4xGe(440)、衍射光路2x Ge(400)、DHS1100

应用范围:

1.     薄膜物相分析(GIXRD)

2.     极图/织构测试

3.     残余应力测试

4.     薄膜高温原位测试

5.     X射线反射率(XRR)测试

6.     摇摆曲线RC

7.     快速倒易空间RSM


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