手套箱蒸镀系统

负责人：王剑斌

放置地点：超净室

设备简介：

手套箱蒸镀系统可以实现有机光电器件的薄膜金属电极制备。可以应用于有机太阳电池，有机发光二极管的研发领域。

技术参数：

1、蒸发室极限真空度：优于5×10－5Pa；

2、蒸发室抽速：40分钟抽至5×10－4Pa；

3、三组水冷电极；两组蒸镀电源；

4、配置膜厚仪实时监控蒸镀膜厚；

5、冷却水循环量1M³/H；

6、配有可与手套箱连接的接口。

7、手套箱水氧指标：小于1ppm