URE-2000B型光刻机

负责人：王剑斌

放置地点：超净室

设备简介

成都光电所研制的URE-2000B型光刻机是一款是自动化程度和可靠性很高的设备，具有优秀的光源平行性、照明均匀性、光刻分辨力、曝光图形质量；，与普通光刻机相比，它具有以下优点：

• 操作：更加方便，功能更加完善；既可以触摸开关操作，手感好，参数设置方便。也可计算机操作，设置曝光参数（如曝光时间、曝光间隙、对准间隙）等更加方便，增加汞灯使用时间记录功能，增加个人使用信息（用户名，登录密码，曝光结果存储与查询）。

• 性能：精度更高；采用专利技术—积木错位蝇眼透镜消衍射，积木错位蝇眼透镜由79个增加109个，长度由18mm增加24mm，实用分辨力可达8-1微米；照明聚光角小(光源平行性好，2º，这是光刻机的重要指标)，照明均匀性好，照明均匀性在f100范围可达±4%提高到±3%。

  设备参数

• 曝光面积：110mm×110mm

• 分辨力：8mm（胶厚2mm的正胶）

• 对准精度：±1mm

• 最大焦厚：600mm（SU8胶，用户提供检测条件）

• 曝光波长：365nm

• 光源平行度：2º

• 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

• 掩模尺寸：5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

• 照明均匀性：±3%（f100mm范围）

• 掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm;   Y: ±5mm; q: ±6度

• 曝光能量密度：>18mW/cm