微波反射光电测试系统设备

2018-10-23 304


负责人:王剑斌

放置地点:超净室

1.设备简介

微波反射光电导衰退光电测试系统/微波反射光电导衰退(μ-PCD)方法使用脉冲光源在样品中产生过剩载流子,由于产生的过剩载流子使样品的电导发生变化,而入射的微波的反射率是材料电导的函数,即反射微波的能量变化也反映了过剩载流子浓度的变化。它具有以下优点:

1)无接触、无损伤、快速测试。

2)能够测试较低寿命和低电阻率的样品。

3)测试的半导体薄膜材料种类基本不受限制。

4)既可以测试P 型材料,也可以测试N 型材料。

5)对测试样品的厚度没有严格的要求,而且可以是多层结构。

6)该方法是最受市场接受的少子寿命测试方法。

2.设备参数

1、激光光源:

  • 波长349nm ;

  • 光斑尺寸:5mm;

  • 脉冲宽度:5纳秒;

  • 激光稳定功率:≥60mW;

  • 激光频率:≥800 Hz;

  • 激光器寿命:≥4500 hours;

2、微波检测系统:

  • 微波输出功率:≥200mW;

  • 微波输出功率稳定性:≤±2%;

3、载台定位精度:≤±0.01mm;


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