报告题目: CVD金刚石的制备和应用

报 告 人:  李成明教授

报告时间：2021年4月29 日 9:00-12:00

报告地点：华南理工大学轻工科学与工程学院D楼306会议室

欢迎广大师生参加!

            华南理工大学轻工科学与工程学院

造纸与污染控制国家工程研究中心

         2021年4月25日

报告摘要:

金刚石具有极其优异的光学性能,具有最高的硬度(80～100GPa)和弹性模量(1050GPa), 最高的热导率(³20W/cm.k ), 极低的热膨胀系数(～1x10-6/℃)、极低的微波介电损耗和极佳的化学稳定性。CVD金刚石的制备方法主要有热丝法、微波CVD和等离子体喷射CVD，已经在光学和热学领域获得广泛应用，在量子计算和半导体领域正在全力的攻关阶段。北京科技大学发展的直流电弧等离子体喷射化学气相沉积基于磁控长通道旋转电弧技术，可实现大尺寸高质量金刚石膜的制备，具有沉积速率高的独特优势，能够制备直径150mm热学级金刚石自支撑膜并建立了金刚石自支撑膜在光学、热学、介电损耗、抗氧化、抗砂蚀、抗激光损伤、以及高温辐射系数等系列性能数据库。同时开展了大功率微波等离子体装备的模拟计算和设计，可制备高品质的光学级金刚石自支撑膜窗口。同时拓展了金刚石膜在高功率电子器件散热、高声速声表面波器件与高功率半导体场效应管器件方面的应用，目前均获得了良好的器件性能，展现了诱人的应用前景。

报告人简介:

李成明,北京科技大学教授，碳基材料与功能薄膜研究室首席教授。先后在北京科技大学获得学士、硕士、博士学位、中国科学院力学研究所博士后，先后在美国西弗吉尼亚大学、德州农工大学、爱尔兰科克理工大学和英国莱斯特大学做博士后和高级访问学者，多次在美国、俄罗斯、法国、德国和西班牙等大学和研究机构访问与交流。兼任中国热处理学会常务理事，单晶金刚石及其电子器件泛太平洋国际研发与产业联盟理事，全国磨料磨具标准化技术委员会委员等。

主要从事金刚石膜与金刚石单晶制备及其功能应用研究。从事金刚石材料研究近30年，领导团队发展了大面积、无裂纹超厚金刚石膜等离子体喷射法制备技术，开展了微波等离子体技术装备和应用研究，率先在国内拓展金刚石多晶和单晶电子学的研究，金刚石膜热学应用在国际上处于领先水平，推动了CVD金刚石自支撑膜的工业化应用。先后主持和参与国家重大专项（子项目）、国家重点研发计划、国际政府间合作项目欧洲地平线计划2020、国家“863”计划、国家自然科学基金等项目30多项。此外，主持与参与军品配套、国防基础科研、总装预研等研究项目20余项。参与起草国家标准2项和审查国家标准20多项。在国际性学术会议做邀请报告20多次，多家国外杂志专题主编和国内杂志编委，在碳相关领域发表学术论文300余篇，参加编写专著4部, 授权国家发明专利60余项。主持研究的金刚石扩热板规模化应用于北斗三号卫星系列, 获得2019年教育部技术发明一等奖,获得其他省部级奖3项.