钨灯丝光源，10-30万倍连续放大，电致冷能谱仪

操作规程：
一、开机
在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮。
1．接通电源后，按红钮，电镜通电。
2．按黄钮，真空系统工作，整机处于待机状态。
3．约30秒后按绿钮，所有系统开始工作，同时计算机自动启动，注册进入系统。
4．双击SmartSEM并登录。
二、打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）
该窗口包括六个控制版面：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vaccum）、样品台(Stage)。操作时每个版面均有多种选择。
三、放置样品
样品室通入氮气打开舱门，放入样品，抽真空。等待真空度<8 x 10^-5mba，真空状态许可出现（Vac Status=Ready）。
  四、选择加速电压（EHT）和开电子枪  
荧光屏上出现图像。可将亮度（Brightness）固定在50％，调节衬度（Constrast）使图像亮暗合适。在低倍率下聚焦图像。
五、检查灯丝饱和与电子枪合轴
选择样品感兴趣部位，将图像放大到5000x以上调焦，如果需要，进行物镜光阑合轴，并消像散。调整图像亮度和衬度。
六、记录图像
1．选择较慢扫描速度，例如：Speed＝9。图像扫完一帧后将冻结（Freeze）在存储器中，以数字文档形式转存或打印。
2．图像最终扫描时可以选用不同的降噪方式，提高图像信躁比。在冻结图像上可以输入文本或对特征物测量。
七、关机
1．关电子枪（Shutdown），样品室放气取出样品，再抽真空。
2．按提示关闭所有窗口与计算机，按黄钮，稍候再关红钮，电镜断电。
实验要求：样品必须干燥，导电。如样品本身导电性差，必须先进行镀金，再测试。