开尔文探针台

负责人：黄文波

放置地点：N205

1. 设备简介

Kelvin探针(振动电容)法是测量接触电势差引起电场变化的信号，不同于电子束阻挡势(二极管)法存在着电子发射和收集过程，而避免了测量本身带来的样品表面条件的变化，通过测量样品和参考电极(其功函数为已知)之间的接触电势差，求出样品的相对功函数。Kelvin探针法对被测材料的适用范围广，并对被测表面没有破坏。

2. 设备参数

• 探针直径: 2-5 mm (other user defined tip sizes available)

• 功函数分辨率: <3 meV

• 扫描范围: 21 x 21 mm stepper motor controlled

• 探针移动距离: 100 mm

• 位置精度: 0.5 micron (Z), 2.5 micron (X,Y)

• 系统跟踪: Automatic hold of Tip-to-Sample distance to 0.5 microns

• 可视化: 3D surface potential形貌图