台阶仪

负责人：王剑斌

放置地点：超净室

设备简介

D-150 是美国Veeco公司生产的一种先进的探针接触式表面轮廓仪(又叫：台阶仪或膜厚仪)，集高测量精度、多功能性和经济性于一体。该仪器适用于各种表面，包括：高分子薄膜、半导体硅片、微电子陶瓷、光学表面和平面显示,可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力，用于控制各种薄膜的生长工艺，是物理、表面、材料、光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺、光学元件及系统的必备表征方法。

设备参数

1) Repeatability 重复性7.5Å

2) Max. scan.length最大测量范围80mm

3) Vertical range 垂直测量范围327um

4) Vertical Resolution 垂直分辨率13um,<0.01 Å

5) Vertical Resolution 垂直分辨率64um,< 0.04Å

6) Vertical Resolution 垂直分辨率327um,<0.2Å

7) Lateral resolution x=25nm, y=1um