MB 200MOD+MB-EVAP手套箱

负责人：王剑斌

放置地点：超净室

1．设备简介

MB 200MOD+MB-EVAP是国际上生产手套箱系统享有盛誉的德国布劳恩公司的产品。该设备配有高精度的水氧检测控制仪，可以实现水氧自动控制，以保持手套箱内水氧浓度在设定浓度，具有气体自循环系统，可除去箱内有机溶剂，能够保持手套箱内水氧浓度均<1ppm，以保证高分子发光材料所要求的使用环境。集成到M.Braun手套箱中的薄膜蒸镀系统含有操作面板的PLC控制系统，最多时间45分钟内可达真空度3X10^-6mbar，可共蒸镀。

2，设备参数

1)单柱气体净化系统

2)SIEMENS PLC控制系统,自动再生程序

3)气体纯度: 水<1ppm,氧<1ppm

4)箱体内压力可在+/-15mbar间自动控制

5)组件：

• 1台初级真空泵(流量: 12 m³/h, RV12)

• 1台分子泵TW250并含有控制器(流量为250L/min)

• 3个热蒸发源,包括电源 2K VA (10V/200A), 1个膜厚测量和控制SQC, 可控制4个源;并包括彩色显示

• 2 个测厚探头

• 2个挡板(PLC控制)

1个可旋转的衬底,高度可调