报告题目：微纳光学器件的加工和应用
报告人：郑蕾博士
主持人：韦小明 教授
报告时间：2024年12月29日（星期日）下午17:00
报告地点：物理楼（18号楼）二楼213室学术报告厅
欢迎广大师生参加!
物理与光电学院
2024年12月28日
报告摘要
具有高分辨率的微纳加工技术对于实现器件的微型化和集成化，以满足光学、光电子、MEMS等领域的发展需求至关重要。在此报告中，我将分别介绍几种不同的用于2D和3D微纳光学器件制备的加工技术。1）双光子光刻：实现超越衍射极限的亚 100 nm特征尺寸的高精度器件和3D器件；2）基于 UV-LED 的显微镜投影光刻技术：实现快速和高分辨率的2D结构制备；3）纳米压印光刻和热压印技术：作为高通量生产的复刻方法。此报告将概述我们近期在微纳光学器件制备方面的工作，以及它们在等离子体和传感等方向的应用研究。
报告人简介
郑蕾，德国莱布尼茨汉诺威大学光学技术中心课题组小组长，德国精英集群PhoenixD资深科学家。本科和硕士均就读于中南大学。硕士毕业后，赴德国汉诺威激光中心（Laser Zentrum Hannover e.V.）开展博士课题研究，并于2018年依托德国莱布尼茨汉诺威大学获得博士学位。毕业后，入职德国莱布尼茨汉诺威大学光学技术中心，并加入德国精英集群PhoenixD，从事博士后研究。之后，晋升为课题组小组长，PhoenixD资深科学家。郑蕾博士主要从事光学加工技术与工艺（代表性技术：双光子光刻、紫外投影光刻和纳米压印）以及微纳光学器件加工与应用领域的研究。
