加工装备类
高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪
品牌：英国Quorum
型号：Q150T ES PLUS
负责人：王营营
联系方式：020-87111280，wangyy86@scut.edu.cn
安放地点：北区科技园2号楼122A室
主要配置：
旋转倾斜样品台（直径60 mm）；
膜厚监控系统；
真空防污染装置。
基本用途：
将石墨蒸镀到样品表面形成薄膜；
将Au、Pt、Cr、Ir、W、Al、ITO等靶材离子化溅射到样品表面形成薄膜；
可在氩气氛中进行离子溅射/蒸镀操作。
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