各位用户:

测试中心新购置的聚焦离子束扫描电子显微镜已完成安装调试，即日起开始对外运行。欢迎广大校内外师生用户了解、预约、使用。

一、设备信息

设备名称：聚焦离子束扫描电镜

设备品牌：美国 Thermo Scientific 

设备型号：Helios 5 CX

设备地点：华南理工大学五山校区31号楼105室

二、主要技术指标

1．电子束加速电压：200V-30kV，电子束流强度：0.8pA-176nA；

2．离子源加速电压：500V-30kV；束流强度：0.1pA -65nA；配置Pt、W、C三种气体源。

3．牛津能谱仪：分辨率（MnKa）127 eV，分析元素范围：5B～ 92U。

4．牛津EBSD：高速低噪音CMOS相机，分辨率1244x1024。

三、应用范围：

1．FIB可对材料进行微纳结构表征与加工，如切割、刻蚀、沉积等操作，还可用于透射电镜样品的定点制备。

2．该设备电子束成像性能优异，配备探测器齐全，可多种信号同时成像，可满足扫描电镜测试需求。

3.配备能谱仪可用于微纳化学成分定性测试及半定量分析。

4.配备EBSD可用于晶体材料的微观结构、物相分析、织构分析、取向分析、应变分析、晶粒尺寸测量以及晶界、亚晶及孪晶性质的分析。‌‌

四、送样要求

1.送样时请提供样品的已知信息，包括材料性质、硬度、切样大小、厚度、区域、用途或预期结果等‌。EBSD样品要提供物相组成信息。

2.FIB样品尺寸要求‌：粉末样品尺寸需大于5微米且无磁性，薄膜/块体样品尽量不超过2厘米，高度不超过1厘米，样品表面尽量平整。

3.EBSD样品要求导电性良好，样品表面平整洁净，尺寸通常长度不超过10mm，宽度不超过10mm，厚度不超过5mm，需提前抛光制样。

4.‌导电性‌：导电性较差的样品需要进行喷金处理，该步骤可到本室进行。

5.‌无污染性‌：样品必须无腐蚀性、无爆炸性、无剧毒性和无挥发性，以减少对电镜的污染和延长电镜的使用寿命‌。

五、预约方式

1.咨询地点：华南理工大学五山校区31号楼105室。

2.校内用户：登录分析测试中心预约系统http://atc.scut.edu.cn/，选择聚焦离子束场发射扫描电子显微镜进行预约。

3.校外用户：联系业务办公室020-87111074或邮件至fxcszx@scut.edu.cn。