高分辨X射线多晶衍射仪

（X-ray diffractometer）

型号：日本理学 SmartLab

主要技术指标：

1.     X射线光源输出功率：3KW，Cu靶，焦斑尺寸：0.4mmx12mm

2.     2θ转动范围：-10°～168°（159°～168°为维护模式）

3.     测角仪可读最小步长：0.0001°，测角仪半径：300mm

4.     能量分辨探测器XSPA-400ER，支持0D、1D和2D模式,有效探测器面积：38.4mmx9.6mm，像素大小：75μmx75μm

5.     入射光路双晶单色器2xGe(400)分辨率：≤30弧秒，入射光路四晶单色器4xGe(440)分辨率：≤8弧秒,衍射光路配双晶2x Ge（400）分析晶体

6.    大五轴尤拉环样品台：Chi圆：-5°～95°，最小步长0.001°；Phi圆：-360°～360°，最小步长0.002°；XY平移范围：-10mm～10mm，最小步长0.0005mm；Z轴范围：-4mm～1mm，最小步长0.0001mm

7.     DHS1100原位变温附件，室温-1100℃，气氛：真空，空气，惰性气体

主要附件：

CBO、入射光路2xGe(400)、入射光路4xGe(440)、衍射光路2x Ge（400）、DHS1100

应用范围：

1.     薄膜物相分析(GIXRD)

2.     极图/织构测试

3.     残余应力测试

4.     薄膜高温原位测试

5.     X射线反射率(XRR)测试

6.     摇摆曲线RC

7.     快速倒易空间RSM