3D光学轮廓仪
厂家:美国RTEC
型号:Up S-Dual
主要技术指标:
1、白光干涉模式和三维共聚焦模式可选
2、垂直分辨率亚纳米级,支持无缝拼接
3、支持样品反射率在0.05%-100%之间变化
应用范围:
1.应用于材料科学、纳米技术等领域的显微形貌、
2.各种材料表面粗糙度和磨损量的检测;
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