大样品台扫描探针显微镜

生产厂家：德国布鲁克公司

型号：Dimension ICON

主要技术指标：

1.扫描器：

XYZ三轴扫描器：XY方向扫描范围≥90um×90um；Z方向扫描范围≥9um；噪声水平：Z方向≤0.035nm；XY方向≤0.15nm；闭环扫描器重复定位精度优于10nm或开环扫描器线性度优于千分之五。

2.样品台：

样品台尺寸：直径≥200mm；能放置最大样品高度≥15mm；样品台自由移动XY行程≥150×150mm；移动精度≥3um;XY方向样品台重复定位精度≥3um；样品台可真空吸附样品；

应用范围：

3.1表面三维成像：接触模式，轻敲模式，智能模式，可工作在空气或液相下。

3.2力学分析：具备力曲线分析、定量纳米力学（QNM）分析；快速力矩阵（FFV）分析等功能。

3.3电磁学：静电力显微镜（EFM）、磁力显微镜（MFM）、高精度导电原子力显微镜（cAFM/TUNA）、调幅/调频模式的开尔文探针力显微镜（AM/FM-KPFM）、定量纳米力学-开尔文探针力显微镜联用（Peakforce-KPFM）、压电力显微镜（PFM）等功能。