高分辨场发射扫描电子显微镜

生产厂家：德国Zeiss公司

型号：Merlin

主要技术指标：

1．分辨率：0.8nm(15kV)，3nm(30kV BSE)

2．束流：10pA- 40nA

3．放大倍率：12X - 2 000 000X

4．加速电压：0.05kV - 30kV

5．检测器：In-lens 、SE、EsB、AsB、STEM检测器。

6．能量谱仪(EDS)：X-MaxN20双探测器系统（英国Oxford公司）；

应用范围：

1．金属、陶瓷、高分子、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、生物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察和分析。

2．各种材料微区化学成分的定性和半定量检测。

3．粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定。

4．复合材料界面特性的研究。