近日，2022级工程硕博士培养改革专项试点硕士毕业生刘杰同学实践成果《基于解耦锚固结构的电容式MEMS加速度计设计与晶圆级制备》被评为首届卓越工程师培养优秀实践成果。
当前国际技术封锁对中国高端传感器产业链形成严峻挑战，高端MEMS传感器设计、制造环节严重依赖欧美企业。突破“卡脖子”困境需聚焦自主核心技术研发。本实践成果提出了一种基于新型解耦锚固结构的全差分梳齿电容式MEMS加速度计结构，适用于深层地质资源勘探等具备高温度稳定性和高灵敏度需求的极端场景。其结构核心创新部分以实践单位为第一发明人申请发明专利并公开，可为同类型高温度服役环境下的MEMS器件研发提供参考。
学校将进一步完善工程硕博士以实践成果申请学位的制度体系，强化工程硕博士以工程实践创新能力为导向的培养定位和标准，以评价改革为牵引推动培养模式的迭代升级。
