离子减薄仪
生产厂家:美国Gatan公司
型号:691
主要技术指标:
1.两个潘宁离子枪,减薄角度 +10° 到 -10°;
2.离子束能量 100eV 到6.0 KeV;3.光束直径:5keV下350μm FWHM,宽离子枪5keV下800μmFWHM;4.离子电流密度最大为10mA/cm2。
主要用途:
金属、陶瓷等试样的减薄,TEM样品的制备。
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