高分辨场发射扫描电子显微镜 Zeiss Merlin

高分辨场发射扫描电子显微镜

生产厂家德国Zeiss公司

型号Merlin

主要技术指标

1.分辨率:0.8nm(15kV),3nm(30kV BSE)

2.束流:10pA- 40nA

3.放大倍率:12X - 2 000 000X

4.加速电压:0.05kV - 30kV

5.检测器:In-lens 、SE、EsB、AsB、STEM检测器。

6.能量谱仪(EDS):X-MaxN20双探测器系统(英国Oxford公司);

应用范围

1.金属、陶瓷、高分子、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、生物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察和分析。

2.各种材料微区化学成分的定性和半定量检测。

3.粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定。

4.复合材料界面特性的研究。

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