分析室真空度优于5.0×10-10mbar；样品室真空度优于7.0×10-9mbar；

单色化X射线源束斑尺寸范围：20μm-900μm之间连续可调；最小调节步长1μm；最佳能量分辨率及灵敏度：高于0.45eV@150Kcps（对Ag3d5/2峰）；最佳分辨率可以达到0.43eV;

能量分析器：能量扫描范围0～5000eV；通过能1～400eV可连续调节，调节最小步长0.1eV；

检测器：配置6通道电子倍增器和DSP二维位置分辨探测器，两个探测器同时进行采谱和成像分析；

离子散射谱（ISS）：能量分辨优于15eV时，灵敏度优于25kcps/nA；

单离子刻蚀能量：200eV～4KeV范围连续可调；

团簇模式刻蚀能量： 2KeV~8KeV连续可调，团簇原子个数：75～2,000可调，每个离子能量最低可达1eV。