探针式表面轮廓仪

负责人：王剑斌

放置地点：超净室

设备简介：

德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率。，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

技术参数：

（1） 最大扫描长度：不小于55mm；

（2）测试高度方向的重复性《6埃（1微米的标准台阶）；

（3）垂直分辨率1埃@6.5µm，10埃@65.5µm；

（4） 垂直方向的扫描范围不小于500微米；

（5）光学系统:彩色CCD 166X放大倍率，固定焦距；

（6） 样品台:150mm样品台，XY手动移动载物台，100mm行程；

（7）探针压力： 0.03mg-15mg范围；

（8）测试样品的最大厚度可达到90mm；