仪器设备
FEI Quanta FEG 250场发射扫描电子显微镜
一、 主要规格及技术指标
电子光学系统:具体指标:
1.分辨率:二次电子(SE)像
高真空模式:30 kV时1.0 nm;1 kV时3.0 nm
低真空模式:30 kV时1.4 nm;3 kV时3.0 nm
环境真空模式(ESEM):30 kV时优于1.4 nm
2 加速电压:0.2kV-30KV
3 放大倍数:14倍-100万倍
二、附件
1.牛津能谱仪OXFORD X-max50
元素分析范围Be4—Cf98;
三、用途
场发射扫描电子显微镜用于检测固体表面显微微观形貌、填充颗粒分布情况的观察与分析