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德国Zeiss Supra 40场发射扫描电镜

分辨率:
1.0nm @ 15KV
1.9nm @ 1 KV
 
放大倍数: 12 - 1,000,000x
加速电压: 0.02 - 30 KV
探针电流: 4 pA - 20 nA (12pA - 100nA 可选)
样品室: 330 mm (Ø) x 270 mm (h)
样品台: 5轴优中心全自动