1、仪器名称：手套箱-真空镀膜系统（Glovebox & thermal evaporator for metal deposition-Keithley 2636B source meter）

型号：1.5工位，可双面操作

生产厂家：成都德力斯

应用领域：材料，物理，化学，电子

2、仪器放置地点

新能源研究所B5542

3、仪器主要用途

提供无水无氧气氛条件下的真空金属沉积。可做以下几个方面的分析研究：

（1）保存对水和氧气敏感的少量样品以及进行相应的样品处理；

（2）可在手套箱内进行对水和氧敏感的化学反应或者测试；

（3）可以在无水无氧条件下通过热蒸镀进行金属电极的沉积；

（4）可以在无水无氧条件下进行光电子的I-V测试；

4、主要技术指标

（1）氧含量£  0.1ppm；

（2）水含量£  0.1ppm；

（3）镀膜机具有涡轮分子泵抽气系统，真空度可小于5X10^-4Pa；

（4）镀膜机从标准大气压抽到5X10^-4Pa的时间小于1小时；

（5）镀膜机具有烘烤功能，烘烤温度可达600摄氏度；

（6）镀膜厚度可通过石英震荡片进行监测，可监测速度达0.1埃每秒；

（7）可同时进行多源有机或者金属的共蒸镀；

（8）系统内可以进行光电子器件的I-V测试；

（9）样品台与蒸镀源间有挡板且两者间的距离可调，样品台可以旋转，保证镀膜的均匀性。

5、处理和使用要求（使用之前，请进行相应的培训！）

（1）含大量水分的样品必须在空气中干燥以后才能放进手套箱内；如不能干燥，请咨询仪器管理人员；

（2）能释放出挥发性有毒气体的样品不允许放到该手套箱内；

（3）镀膜机在使用前必须经过系列的培训并通过考核后才能得到许可。

（4）填写送样单，并导师签字（校内送样）。

（5）送样时，将样品和送样单一起送交。并在样品袋上标明送样人姓名及样品编号。

（6）样品需回收者，请在收到测试结果1周后尽快取样。