高分辨场发射扫描电子显微镜
Field Emission scanning electron microscope
仪器型号：Merlin
生产厂家：德国Zeiss公司
一、功能用途：
可用于金属、陶瓷、高分子、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、生物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察和分析；各种材料微区化学成分的定性和半定量检测；粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定；复合材料界面特性的研究。
二、主要技术指标：
1．分辨率：0.8nm(15kV)，3nm(30kV BSE)；
2．束流：10pA- 40nA；
3．放大倍率：12X - 2 000 000X；
4．加速电压：0.05kV - 30kV；
5．检测器：In-lens、SE、EsB、AsB、STEM检测器；
6．能量谱仪(EDS)：X-MaxN探测器系统（英国Oxford公司）。
三、工作原理：
利用细聚焦高能量电子束，在扫描线圈磁场的控制下，电子束在样品表面逐点扫描，激发出二次电子、背散射电子等物理信号，经探测器收集、放大器放大后，将信号一一对应地在显示屏上的相应各点调制成像，从而获得样品表面的放大图像。
四、送样要求：
1、送检样品必须为干燥固体，块状、片状、纤维状及粉末状均可；
2、送检样品应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性；
3、含水分较多的生物软组织的样品应制备成干燥样品，用户可以自行完成冷冻干燥或临界点干燥处理，也可以自行完成临界点干燥之前的固定、清洗、脱水及用醋酸（异）戊酯置换等处理，最后可以到本室进行临界点干燥处理；
4、需观察图像的导电性不佳的样品干燥后应镀导电膜，该步骤可以到本室进行；
5、一般情况下，样品尽量小块些（≤ 10 x 10 x 5 mm较方便）。粉末样品每个需1g左右。纳米样品一般需超声波分散，并镀导电膜。
