主要特点:
两支独立可调电磁聚焦离子枪。
同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)。
超宽加速电压范围:100eV到10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保持最细最优束斑状态。
每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测。
采用可调节10英寸触屏控制系统,人机界面友好,操作简单。
减薄角度范围:-15°到10°连续可调。
样品载台X-Y可调,可根据需要调整样品减薄位置。
具备原位实时观察及记录减薄过程功能。
样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹。
管理员:蒋老师,18516253967