主要特点：
在同一舱室内对样品进行抛光、刻蚀或镀膜。
离子束能量 0.1～8 keV，快速地得到无损样品表面。
有真空转移系统能将样品从仪器转移到SEM/FIB或手套箱中。
数字光学成像，可利用 DigitalMicrograph® 软件存储和分析图像。
管理员：蒋老师，18516253967
