透射电镜指标:
● 兼容指定电镜型号及极靴;
● 可选双倾版本,双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°(同时受限于极靴间距);
● 保证透射电镜原有分辨率。
电学测量指标:
● 包含一个电流电压测试单元;
● 电流测量范围:1nA-30 mA,9个量程;
● 电流分辨率:优于100 fA;
● 电压输出范围:普通模式±10 V,高压模式±150 V;
● 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。
扫描探针操纵指标:
● 粗调范围:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;
● 细调范围:XY方向18 um,Z方向1.5 um;
● 细调分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。