ZT-40-20Y 真空热压烧结炉
发布时间: 2016-12-19 浏览次数: 1063


1)  准备“水、电、气”:

打开总电源、冷却水电源、电柜内各开关,观察冷却水箱水位,打开冷却水箱开关,点击水泵、压缩机。电柜开机,登录密码111111。设备关机时,炉体须真空状态保护。

2)  开炉装料:

炉内为负压时,松开炉扣,调节上压头顶杆至适当位置,打开放气阀对炉体放气,待到电子示数为零,用液压杆升起炉盖,取出上顶盖与上顶小盖,装填模具与上压头,调节模具内样品位置于加热区中心,盖上上顶盖,保证装填后上压头与上顶盖位置平齐。注意尽量不要触碰炉内加热丝。炉盖归位,调节上压头顶杆使得顶杆与上压头对齐,松开液压杆降低炉盖,继续调节上压头顶杆锁紧,再锁紧炉扣。

3)  电炉抽真空:

点击“工艺控制”、“真空控制”,点击“机械泵”,声音稳定后点击“上蝶阀”,锁紧炉扣,预抽至20Pa以下。点击“工艺控制”、“压力控制”、“压头上升”,施加预压力至不再位移,点击“位移清零”。

(接清洗气路)打开“下蝶阀”,锁紧炉扣,真空度到20Pa以下后打开“扩散泵”,预热45min以上,关闭“上蝶阀”,打开“主蝶阀”,直至炉内真空度达到工艺要求。

4)  清洗气路:

点击“气氛控制”,点击“充气阀”,手动打开充气阀门,真空度到20Pa以下,关闭“充气阀”,然后手动关闭充气阀门。打开气瓶减压阀,向管道内充气。重复上述步骤两三次。

5)  工艺设置:

点击“工艺设置”,点击“配方管理”,设置时间、温度(最高1600℃)、功率上限(最高60%)、压力(最高31T),点击保存,输入工艺名称,下载到PLC,再次输入工艺名称。弹出是否马上执行,可选“否”。

压力计算公式:使用φ20模具,若需加载x MPa,则压力为 πx /100

                  使用φ30模具,若需加载x MPa,则压力为 2.25πx /100

6)  参数设置:

点击“参数设定”,工艺总步数(最多36步),存盘时间可调节,其余按钮选择“PLC控温”、“渐变模式”、“手动模式”、“PLC控压”、“渐变模式”。

点击“温度参数设定”,根据工艺最高温度设置“控温报警温度”以及“监测报警温度”。

7)  工艺运行:

检查真空度、工艺设置、工艺参数是否调试正确后,点击“工艺运行”,点击“工艺启/停”

8)  降温步骤:

工艺停止后,随炉冷却至200℃以下,关闭扩散泵,90min后关闭主蝶阀,关闭下蝶阀与机械泵。(若要使用填充气体加速冷却,必须要在主蝶阀与上蝶阀关闭的情况下方可打开充气阀,手动打开充气阀门,再打开气瓶减压阀,控制气体流量达到正压后,打开上端放气阀,继续控制流量稳定,并持续降温至室温。关闭充气阀,手动关闭充气阀门,关闭气瓶减压阀,待到炉内气压降至零后方可开炉取样。)

9)  开炉取样:

点击“工艺控制”,点击“压力控制”,关闭“压头上升”,点击“压头下降”稍微降低下压头,关闭“液压站”。松开上压头顶杆,若此时炉内为负压,需松开炉扣。若为正压,则需抽成负压,方可松开炉扣。打开右边放气阀,待炉内气压归零后,方可使用液压杆升起炉盖。