一、开机检查工作

检查冷却水箱中的水量是否足够。

检查两个剩液排放开关是否处于关闭状态；

检查两个雾化功率调节旋钮是否调至最小；

检查加热功率调节旋钮是否调至最小。

检查真空泵下的液化罐，如液体量满一半时，则取下倒出。

二、开机操作

插上电源插头，启动总电源（红色）。

开启冷却水泵，检查各管道是否有漏水或堵塞现象。

开启雾化控制电源，确保各管道，盛杯没有漏液；

开启雾化开关I，雾化启动灯亮后开启载气泵，调节雾化功率旋钮（开始时稍稍拧动，实验过程中保持中等功率即可，否则保险丝易烧坏），检查喷雾口是否有雾喷出，有则说明雾化腔工作正常。调节流量计I，调节喷雾高度和速度。调好后，关闭雾化开关I及载气泵。

测试雾化雾化开关II。

在旋转盘上夹持准备好的基片，关闭腔盖，开启真空泵（约10min）。

开启加热电源，设定加热温度后由小到大调节加热功率旋钮（当电流表指针偏动时，则说明开始加热；实验过程中，确保电流表示数不大于6~7A）。

加热到预定温度后，开启衬底旋转控制开关并调节转速（不超过200r）。

开启雾化开关I（雾化开关II），开启载气泵。注意：当注液槽内溶液耗完要及时添加。

三、停机

保持雾化开关I、II在开启的状态下，打开剩液排放开关，直至放光。

关闭雾化开关，关闭真空泵；10min后关闭载气泵；关闭雾化控制电源。

加热功率调节旋钮调至最小后关闭加热电源。

待3分钟后关闭循环水泵；关闭总电源。

四、取样

打开腔盖，待衬底基板充分冷却后取下衬底；清理腔室后盖上腔盖。

五、清洗

注液池倒入去离子水，让雾化腔内重新雾化10min（清洗整个腔室）；再打开剩液排放开关，直至放完。如果残留物较多，必要时可多清洗1-2次。