热丝化学气相沉积(CVD)炉 |
发布时间: 2016-12-19 浏览次数: 1584 |
1. 装样密封 2. 打开真空计,看是否为常压,开冷却水,开窗 3. 抽真空,按机械泵抽手,打开真空球阀,抽到20Pa左右 4. 打开流量显示仪,打开H2瓶,打到阀控档,进行清洗,通过阀控调节H2流量 5. 关掉真空球阀,打开微调,调节所需压强 6. 打开加热电源开关,缓慢调至所需功率(50W/5min),然后打开CH4瓶,通过阀控调节CH4流量, CVD开始 7. 到预定时间,先关CH4,将电压电流缓慢调到零(20W/5min),关掉电源开关,关H2 8. 关闭流量显示仪,关真空计,关机械泵抽气,关冷却水,关窗 9. 等冷却,按放气阀取样 注意: 1、正式CVD前需经过快热快冷清洁钨丝; 2、装样前调节“口”字型台来调节基丝间距,保证水平; 3、检验是否有漏气的情况; 4、氢气出气口下的长方形条口需平行于钨丝; 5、氢气瓶气压显示小于3时需要更换气瓶;甲烷气瓶小于2.5时需更换 6、因钨丝碳化会改变电阻,从而影响电流,通常情况下,CVD3h左右钨丝开始碳化; 7、需随时监测电流变化
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