热丝化学气相沉积(CVD)炉
发布时间: 2016-12-19 浏览次数: 1584

 

1.  装样密封

2.  打开真空计,看是否为常压,开冷却水,开窗

3.  抽真空,按机械泵抽手,打开真空球阀,抽到20Pa左右

4.  打开流量显示仪,打开H2瓶,打到阀控档,进行清洗,通过阀控调节H2流量

5.  关掉真空球阀,打开微调,调节所需压强

6.  打开加热电源开关,缓慢调至所需功率(50W/5min),然后打开CH4瓶,通过阀控调节CH4流量, CVD开始

7.  到预定时间,先关CH4,将电压电流缓慢调到零(20W/5min),关掉电源开关,关H2

8.  关闭流量显示仪,关真空计,关机械泵抽气,关冷却水,关窗

9.  等冷却,按放气阀取样

注意:

1、正式CVD前需经过快热快冷清洁钨丝;

2、装样前调节“口”字型台来调节基丝间距,保证水平;

3、检验是否有漏气的情况;

4、氢气出气口下的长方形条口需平行于钨丝;

5、氢气瓶气压显示小于3时需要更换气瓶;甲烷气瓶小于2.5时需更换

6、因钨丝碳化会改变电阻,从而影响电流,通常情况下,CVD3h左右钨丝开始碳化;

7、需随时监测电流变化